Твёрдая иммерсионная линза
Перейти к навигации
Перейти к поиску
Твёрдая иммерсионная линза (SIL) - вид иммерсии, приспособление для повышения апертуры микроскопа, изготовленное из материала с высоким коэффициентом преломления. Эта разработка позволяет заметно повысить разрешающую способность оптического микроскопа.[1]
Применение[править | править код]
Микроскопия[править | править код]
Фотолитография[править | править код]
Хранение данных[править | править код]
Примечания[править | править код]
- ↑ Wu et al. Realization of numerical aperture 2.0 using a gallium phosphide solid immersion lens Applied Physics Letters 75(26) 4064 (1999).